文献综述
文 献 综 述1. 引言随着能源危机和环境污染问题的日益突出，新能源的研发是当前人们密切关注的重要研究领域之一。
除新能源的收集外，能量的存储也日益受到人们的重视。
常见的储能器件有电池、燃料电池、超级电容器和电介质电容器等。
其中电池和燃料电池的能量密度高，但功率密度低；传统电介质电容器的功率密度高，但储能密度低；超级电容器的功率密度和能量密度介于电池和传统电容器之间。
电介质电容器具有介电常数高、介电损耗低、功率密度高、充/放电速度快、工作电压/电流大、可靠性好、温度稳定性好等优点，已经被应用于脉冲功率器件领域。
与块体材料相比，薄膜电容器的耐压强度高，因此其储能密度高。
目前已经对储能薄膜开展了大量的研究，其结构体系有很多，如钙钛矿结构、铋层状结构、焦绿石结构、单金属氧化物薄膜等。
其中钙钛矿结构薄膜是研究最早、最多的一类。
目前，用磁控溅射或激光脉冲沉积制备的无铅钙钛矿结构薄膜的储能密度达 100 J /cm3 以上。
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