文 献 综 述
摘要：随着超精密加工技术迅速发展，可以实现光学自由曲面的加工，对光学自由曲面检测要求越来越高。倾斜波面干涉在自由曲面检测领域越来越重要。本项目设计具有多个自由度的装夹结构，设计出能高精度装校大口径标准球面补偿透镜组的装校方法，实现波面误差的有效控制。
关键字：倾斜波面干涉；光学自由曲面；透镜组装调；
一、研究背景
近年来，超精密加工技术迅速发展，可以实现光学自由曲面的加工，该面型由于具有极大的自由度，不仅能最大程度的简化系统结构，实现集成化，还能最大限度的提高和改善系统性能，开始成为新一代光学元件。在汽车拉伸模型、注模、轮机叶片、舰船螺旋桨及各种玩具成型塑料模等领域应用日益广泛。虽然自由曲面在光学系统中有很多的优点，但是由于光学自由曲面面型的特殊性，其自由度大很难检测。
光学自由曲面的检测方法主要分为接触式检测法和非接触式检测法。其中接触式检测主要有：夏克—哈特曼波前探测技术，CGH光学检测法，三维坐标机检测法。但其有精度低、测量效率低，容易划伤元件等缺点。非接触式检测法中，光学干涉测量，因其不会损伤待测表面，测量效率和精度高，且能检测面形波长量级的变化，具有良好的发展前景。
虽然自由曲面在光学系统中有很多的优点，但是由于光学自由曲面面型的特殊性，其自由度大很难检测。解决这个问题的方法有高分辨率探测法、双波长法、剪切法、倾斜波面补偿技术等，其中比较有效的是倾斜波面补偿技术。该技术的关键在保证各光学面的球心的同轴度。为保证光学系统的成像质量，需要将光学系统中每个折射面（或反射面）的球心调整到同一轴上，达到同轴状态。当同轴状态遭到破坏时，光学系统的成像质量将会严重下降，影响整个系统的测量精度。
二、研究现状
2.1 国外研究现状
横向检测干涉法：
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