基于瑞奇-康芒法的大口径平面
面形检测方法研究
研究背景及研究意义
随着光学技术的不断发展,高精度、大口径光学平面镜在空间光学、强激光等光学领域得到了广泛的应用。大口径光学平面镜的加工需要有相应的高精度检验方法。
大口径光学元件一般指口径大于300mm的光学元件。大口径光学元件有利于克服衍射效应、提高光学系统的分辨率、焦斑锐度、像的亮度和照度,在天文学、强激光与军事领域有着十分广泛的应用。例如“神光”计划需要大批量250times;350mm的高精度反射镜[1]、LAMOST项目需要多块对角线尺寸为1.1m的六角形反射镜以拼接成6米的望远镜主镜[2]等。为了确保这些光学系统的综合质量,必须对大口径光学元件的面形精度进行检测,因此,发展与大口径光学元件精度相适应的检测方法对光学系统性能的提高有重要意义[3]。
平面镜是光学系统和工程仪器中常用的光学元件,也是基本的光学和几何测试对象,特别是在光学干涉计量领域中,平面波像差标准是其它各种测试的基础,因此获得高精度的标准平面是很有必要的。大口径平面镜加工过程中多为水平放置,由于重力的影响,在垂直或一定的倾角状态下,面形将有所改变同时,机械结构的支撑对面形也有较大的影响,所以,开展对大口径平面镜在实际使用状态下的面形高精度测量技术研究有着重要的实际意义。
Ritchey-Common (瑞奇-康芒)法是检测大口径平面镜的传统方法，早期只能
利用刀口仪做定性的检测，随着激光数字干涉仪的出现，使得对采集的数据做相
应的处理成为可能[4]。瑞奇－康芒法作为在大口径平面镜检测中一种常用的检测方法，测试时需要一块面形精度较高的球面镜作为参考镜，检测方法直观、易于实现，且具有较好的稳定性[5]。
以上是毕业论文文献综述，课题毕业论文、任务书、外文翻译、程序设计、图纸设计等资料可联系客服协助查找。
