单晶半导体和绝缘体二次电子发射及其应用文献综述

 2024-08-09 11:08
摘要

二次电子发射是指材料受到一定能量的电子束或其他粒子轰击时,从其表面激发出电子的现象。

单晶半导体和绝缘体作为一类重要的功能材料,其二次电子发射特性在电子倍增器件、电子显微镜、表面分析技术等领域具有广泛的应用。

本文首先介绍了二次电子发射的基本原理、影响因素以及表征参数,然后分别综述了单晶半导体和绝缘体材料的二次电子发射特性研究进展,并重点讨论了掺杂浓度、表面处理、温度、带隙结构等因素对二次电子发射性能的影响。

此外,本文还详细介绍了单晶半导体和绝缘体二次电子发射在电子倍增器件、电子显微镜、表面分析技术等领域的应用,并展望了其未来发展趋势。


关键词:二次电子发射;单晶半导体;绝缘体;应用;电子倍增器件

1引言

二次电子发射(SecondaryElectronEmission,SEE)是指固体材料受到一定能量的带电粒子(如电子、离子等)轰击时,从其表面激发出电子的现象[1]。

二次电子是指那些能量较低,通常小于50eV的电子。

这些电子来源于固体材料内部,并在入射粒子激发下获得足够的能量克服表面势垒逃逸出来。

SEE现象广泛存在于各种材料中,其性质与材料的组成、结构、表面状态等因素密切相关。


单晶半导体和绝缘体材料作为一类重要的电子材料,具有独特的电子结构和优异的电学性能,在微电子、光电子、传感器等领域有着广泛的应用。

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